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中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設(shè)備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數(shù)納米，線性精度可達亞納米級別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數(shù)據(jù)處理與分析的光學測量儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價格變實惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

W1光學輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。