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中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維形貌測量儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。

NS系列臺階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

在材料生產檢測領域中，共聚焦工具顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中圖儀器SuperViewW1白光光學干涉儀品牌采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高.

中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，500萬像素高分辨率彩色攝像機，即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸到控制電腦上，使得測量更加直觀。